Работаем в обычном режиме с 10-18, Пн-Пт

ХЛАДОН 318C (ОКТОФТОРЦИКЛОБУТАН)

Синонимы: Octafluorocyclobutane, RC318, R318C, Perfluorocyclobutane, октофторциклобутан, перфторциклобутан, хладон 318Ц

ПРИМЕНЕНИЕ

Используется в микроэлектронике для плазменного травления пленок кремния и диоксида кремния.

У нас можно купить хладон 318C следующих марок
Марка	3.0	5.0
Содержание основного вещества, не менее	99,9%	99,999%
Примеси:
Примеси, определяемые хроматографическим методом	< 0,1 %	-
Органические примеси	-	< 10 ppm
N₂	-	< 5 ppm
O₂	-	< 2 ppm
H₂O	-	< 3 ppm
Кислотность по HF	-	< 1 ppm

Характеристики октафторциклобутана
Общая характиристика	Газ без цвета и запаха. Нетоксичен.
Молекулярная масса	200,03003 г/моль	CAS №	115-25-3
Давление паров при 20° С	1,7 бар	№ ООН	UN1976
Температура кипения	-5,99° C	КЭМ
Температура плавления	-41,4° C	Класс опасности груза (по ДОПОГ 2015)	2.2
Критическая температура	115,22° C	Знаки опасности
Критическое давление	2,777 МПа	Знаки опасности

Стандартные баллоны для хладона 318C
Объем, дм³	Размер ⌀D×H, см	Вес баллона, кг	Максимальное заполнение, кг
10	⌀14×82	14	9,4
20	⌀18×104	24	18,8
40 (импортный)	⌀23×128	39	37,6
40 (РФ)	⌀22×128	65	37,6
50	⌀23,5×147	57	47

Вентиль мембранный латунный, подсоединение DIN 9 (G3/4) или DIN 6 (СП 21,8 × 14 нит/дюйм), другие по запросу.